表面处理装置包括容器，其容纳被处理体；表面处理单元，其具有处理室，该处理室具有容纳容器的空间，并导入用于对被处理体的表面进行处理的气体；以及容器驱动机构，其使容纳被处理体的容器进行往返动作或摆动动作中的至少一个动作。